IVS
Image-based Verification System
AVIで検出されたカラー欠陥画像を活用し、過検出を確認するとともに、実際の不良の有無を迅速に判定する画像ベースのベリファイシステムです。
- AVIのカラー欠陥画像をそのまま活用し、過検出を低減するとともに、実際の不良の有無を確認します。
- Pixel AIによる自動欠陥フィルタリングとの連携により、レビュー効率を向上できます。
- 製品の再ハンドリングを最小限に抑える非接触ベリファイワークフローへの拡張が可能です。
統合欠陥ベリファイシステム製品お問い合わせ
欠陥検出から最終判定まで、 一貫した統合検証システム欠陥検出から最終判定まで、 一貫した統合検証システム
AIフィルタリングとIVS・ICSを連携させ、欠陥レビューから最終判定までを効率的に支援します。
AIフィルタリングにより、過検出に伴うレビュー作業の負担を軽減します。
IVSによる画像ベースの欠陥レビューとOK/NG判定を支援します。
ICSによる高倍率での再検証により、確認が必要な欠陥を精密に検証し、最終判定の信頼性向上を支援します。
製品特徴
IVS
カラー欠陥画像レビュー
過検除去、実不良確認、Auto IVS filtering連携
ICS
0.345 um/pixel
All-in-Focus 高解像度画像とPseudo 3D View提供
詳細
ICS
Image Capturing System
判定が難しい欠陥を高倍率・高解像度で再撮影し、All-in-FocusおよびPseudo 3D View機能を活用して、精密な欠陥確認と最終判定を支援するベリファイシステムです。
- 光学解像度：0.69 µm/pixel / FOV：1,004 × 750 µm
- 画像撮影時間：1.5秒/ポイント
- 10倍対物レンズによるAll-in-Focus画像撮影
- 非接触の高倍率欠陥レビューおよびPseudo 3D Viewに対応
非接触ベリファイ
IVS・Auto-IVS・ICS ベリファイワークフローIVS・Auto-IVS・ICSを連携したベリファイワークフロー
製品の再ハンドリングを最小限に抑え、画像ベースの欠陥レビュー、自動判定支援、高倍率での再検証を連携させることで、ベリファイ効率と最終判定の信頼性を高めます。
IVS画像レビュー
AVIで検出された欠陥画像を活用し、過検出の確認、欠陥寸法の測定、欠陥カテゴリの分類を行い、OK/NG判定を支援します。
Auto-IVS判定連携
ルールベース検査、AIフィルタリング、作業者によるベリファイを連携させ、欠陥判定プロセスを効率化し、不良流出リスクとレビュー作業の負担を軽減します。
ICS高倍率ベリファイ
追加確認が必要な欠陥を高倍率のAll-in-Focus画像で再撮影し、精密な欠陥確認と信頼性の高い最終判定を支援します。
ICS Optics
2D画像とPseudo 3D Viewによる高精度ベリファイ2D・Pseudo 3D Viewによる 高精度ベリファイ
ICSは高倍率の2D画像とPseudo 3D Viewを組み合わせることで、微細な欠陥の特徴を直感的に把握し、より正確な欠陥判定を支援します。
2D ViewPseudo 3D ViewAll-in-Focus10× Objective LensNon-Contact Verification
- IVS画像だけでは判定が難しい微細な欠陥を、高倍率で再確認できます。
- 検査目的に応じて、従来のVRSによる高倍率再検証作業を代替する構成を検討できます。
- IVSとの連携により、追加確認が必要な欠陥を選別し、ベリファイ作業の効率向上を支援します。