U-400T / Color Unit 2D AFVI
JEDEC trayベースの標準unit inspection構成。両面auto flipとtray積載運用をサポートします。
- Color: 2.5-5 um/pixel
- Metal / SR
- Max. 150 tray at once
- System size: 2,330(W) x 1,780(D) x 1,965(H) mm
- Multi-angle white LED
- 25 sec/tray
- 両面 auto flip
代表モデル製品お問い合わせ
高解像度カラーおよびDent検査Tray AFVI
Unitレベル最終外観検査を担います。
2.5-5umカラーおよびDent検査へ拡張可能なTray AFVI
JEDEC Trayに載せられたFC-BGA Unit検査向けのAFVI製品群。両面自動検査が可能です。
製品タイプ
Unit on JEDEC Tray
FC-BGA unit inspectionをtray loading中心に対応
積載容量
Max. 150 Tray
auto flipが必要な2D構成とone-side 3D構成を区別して提案
Tray AFVI 製品群 簡易仕様
U3D-400T / Unit 3D AFVI
高さ偏差と3D shape検証が必要なunit inspection向けone-side tray構成です。
- X: 6.5 um, Z: 20 nm
- FOV: 11.6 mm
- 35 sec/tray
- System size: 1,960(W) x 1,510(D) x 2,105(H) mm
- Z-repeatability: 200 nm
- Range: 350 um to 500 um
- Unit on JEDEC tray, one side
選定基準
Tray AFVI 選定ポイント
- JEDEC Tray上で両面2Dカラー検査を行う場合はU-400Tを検討
- バンプ高さ検査が必要な場合はU3D-400Tを検討
- Tray-in Tray-out工程を基準に設計
- IVS / ICSと連携し、非接触Verifyフローへ拡張可能
運用メモ
工程運用メモ
- JEDEC Trayを使用し、上下面自動検査が可能
- 3D AFVIによりBump高さ計測およびWarpage検査が可能
- SRおよびMetal欠陥検出が可能
選定基準
Tray AFVI 選定ポイント
- JEDEC Tray上で両面2Dカラー検査を行う場合はU-400Tを検討
- バンプ高さ検査が必要な場合はU3D-400Tを検討
- Tray-in Tray-out工程を基準に設計
- IVS / ICSと連携し、非接触Verifyフローへ拡張可能
運用メモ
工程運用メモ
- JEDEC Trayを使用し、上下面自動検査が可能
- 3D AFVIによりBump高さ計測およびWarpage検査が可能
- SRおよびMetal欠陥検出が可能