比較画像
光学、検査、データ、AI、Verifyシステムを 一つに統合するPIXELの検査技術体系
Color imaging、special optics、AI inspection、CAD segmentation、IVS / ICSが、実際の判定品質と運用効率をどのように向上させるかをご紹介します。
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Color vs Mono
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color vs UV
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Color vs Dent
Core Technology
各技術がどの欠陥タイプと運用課題を解決するかを中心に確認できます。
より多くの欠陥情報を含むカラー画像
モノクロ画像よりも色と質感の差を豊かに示し、欠陥判別力と作業者読取性を向上させます。
UV、IR、Dent光学
DFR残存、SR下部Open/Short、Dent欠陥など、通常照明のみでは困難な欠陥を検出します。
AI検査
従来のルールベース検査では検査できなかったクリティカル領域をAIで検査します。
CADベース領域分割とデータ管理
ODB++、Gerber、Golden Boardを基に検査領域を生成し、Bump / Metal / SR / Pattern / Via別に領域を分類。領域ごとに詳細なSegmentationと検査設定が可能です。
画像ベースVerify
AVI欠陥画像をそのまま利用し、分類、計測、過検除去、最終OK / NG判定を実行します。
All-in-Focus 精密Verify
高倍率多層画像取得により、判定が困難な欠陥のみ精密に再確認可能。3Dビューを提供します。
レシピ中央管理
CAM / NAS / DBベースの中央管理により、同一モデルの号機間展開と類似モデル再利用を迅速化し、個別設備のレシピチューニング時間も短縮します。
欠陥情報統合管理
全検査設備の欠陥判定、spec状態、欠陥トレンドおよび統計を中央で管理可能です。
検査、Verify、AIを含む PIXEL運用体系
検査装置、Verify、AI、recipe platformを一体系で運用できるよう、PIXELの技術構造を構成します。
Panel AVI
Panel量産検査のメインプラットフォームとして、カラー画像ベースの欠陥検出を実行します。
- Pattern, contamination, SR-related 欠陥検出
- UV and IR option available
Pattern, contamination, SR-related 欠陥検出Strip & Tray AFVI
Strip、unit、trayベースのpackage外観検査に最適化された製品群です。
- Strip magazine + stack and JEDEC tray operation
- 2D / 3D AFVI, dent and surface defect 対応
IVS
AVI欠陥画像をそのまま活用し、過検除去とdefect classificationを実行します。
- Defect map based review
- Remote and touchless verification
ICS
高倍率All-in-Focus imagingとPseudo 3D Viewにより、判定困難な欠陥のみ精密再確認します。
- x10 lens, 0.345 um/pixel
- 1.5 sec per point capture
Pixel Master
CAM / NAS / spec databaseを中央管理し、モデル展開と設備間展開速度を向上させます。
- Central recipe management
- Multi-line deployment support
現場適用までつながるPIXEL AI Integration
ルールベース検査では見逃しやすい領域まで補強するAI検査
AVI / AFVI画像とCAMデータを基にクリティカル領域、非定型欠陥を検査し、Overkillパターンを学習してIVS / ICSワークフローと連動し、最終判定までつなげます。
データ準備から現場展開まで
工程別カラー検査画像を利用し、迅速な学習と水平展開が可能です。
- データ管理とラベリングフローの一元化
- 学習モデル検証後、即座にライン適用
- 運用データベースの再学習構造
製造検査に合わせた主要AI機能
検査はもちろんfilteringまで、現場で使用できるAIシステムです。
- OK/NG filtering / クリティカル領域検査
- ルールベース検査と並行運用可能
検出性能と運用効率を 同時に改善
ルールベース検査、AI検査、作業者を連携し、NG流出リスクを抑制し、作業者の省力化を実現します。
- NG流出ゼロ
- 作業者レビューとティーチング負担の軽減
- IVS / ICS / Pixel Master 連携運用
お客様が実感する 課題と解決方向お客様が実感する課題と解決方向
検査装置、Verify、AI、recipe platformを一体系で運用できるよう、PIXELの技術構造を構成します。
モノクロベース検査では色差判読が困難
欠陥タイプに応じてカラー画像と多波長光学オプションを使用し、作業者とAIの双方により多くの欠陥手がかりを確保します。
過検処理とVerify負担が大きい
IVS、AI filtering、ICSを段階的に組み合わせ、NG欠陥の流出なく精密なレビューを実現します。
レシピ展開時、モデル切替のたびに作成負担が大きい
Pixel Masterによる中央管理で、同一モデルの号機間展開速度を向上させ、個別設備のレシピチューニング時間を大幅に短縮します。
不感帯領域の存在
クリティカル領域にAI検査を適用し、従来のルールベース検査では検出不可能な欠陥まで検査可能です。
自動化できない目視検査
Dent欠陥など目視依存度の高い欠陥も、PIXELの特殊光学系で検出可能です。
現在の工程で最も困難な欠陥を お知らせいただければ 技術構成からご提案します。現在の工程で最も困難な欠陥を お知らせいただければ、技術構成からご提案します。
Color、UV、IR、Dent、AI、IVS、ICSのうち、どの軸が必要かを工程条件とともに検討できます。