

Panel / Quad
高解像度カラー画像を基に、外観不良、ABF Void、SR Pinholeなどのクリティカルな欠陥を検出するメイン検査プラットフォームです。
- 2-5 um/pixel対応
- Color, UV, IR optical expansion
Inspection Intelligence For Yield Decisions
Panel AVI、Strip AFVI、Tray AFVI、AI filtering、IVS、ICS、Pixel Masterを一つの運用フローで連携し、量産ラインの検出能力と判定効率を同時に向上させます。
事業分野
Final Visual Inspection
パッケージ基板のPanel/Strip/Unit各段階における外観不良、SR / Metalを検査します。

Final Visual Inspection
Glass基板特性に合わせた特殊光学系と画像処理により、Via Hole、Crack不良を検査します。

Final Visual Inspection
Waferレベルにおける表面異常と外観不良を、高解像度画像ベースで検査します。

Color, UV, IR, Dent opticsを工程別に組み合わせ高い欠陥検出に基づくデータを確保します。Color, UV, IR, Dent optics를 공정별로 조합해 결함 검출 기반 데이터를 확보합니다.
クリティカル領域に対するAI検査とOK/NG欠陥filteringソリューションにより検出能力向上と作業者確認負担を軽減します。크리티컬 영역에 대한 AI 검사와 OK/NG 결함 필터링 솔루션으로검출력 향상과 작업자 확인 부담을 경감 합니다.
画像ベースのVerifyと精密再撮影を組み合わせ、最終OK / NG判定精度を向上させます。이미지 기반 베리파이와 정밀 재촬영을 결합해 최종 OK / NG 판단 정확도를 높입니다.
Color, UV, IR, Dent opticsを工程別に組み合わせ高い欠陥検出に基づくデータを確保します。Color, UV, IR, Dent optics를 공정별로 조합해 결함 검출 기반 데이터를 확보합니다.
クリティカル領域に対するAI検査とOK/NG欠陥filteringソリューションにより検出能力向上と作業者確認負担を軽減します。크리티컬 영역에 대한 AI 검사와 OK/NG 결함 필터링 솔루션으로검출력 향상과 작업자 확인 부담을 경감 합니다.
画像ベースのVerifyと精密再撮影を組み合わせ、最終OK / NG判定精度を向上させます。이미지 기반 베리파이와 정밀 재촬영을 결합해 최종 OK / NG 판단 정확도를 높입니다.
事業分野