

Panel / Quad
高解像度カラー検査と特殊光学技術を活用し、Panel・Quad単位での外観欠陥やABFボイド、ソルダーレジスト(SR)のピンホールなど、主要な欠陥を高精度に検査します。
- 光学解像度:2~5 µm/pixelに対応
- 光学構成:カラー検査を基本に、UV・IR検査への拡張が可能
検出から判定まで
Panel・Strip・Tray向け検査装置とAI検査・フィルタリング、IVS/ICSによる検証、Pixel Masterによるレシピ管理を連携させ、量産現場における欠陥検出性能と判定効率の向上を支援します。
事業分野
先進半導体パッケージ基板検査
AIサーバーや高性能コンピューティング(HPC)向け半導体に使用されるFC-BGAパッケージ基板を対象に、Panel・Strip・Unitの各工程において、ソルダーレジスト(SR)や金属パターン領域の微細な外観欠陥を高精度に検査します。

先進ガラス基板検査技術
次世代半導体パッケージ向けガラス基板の特性に合わせた光学系と画像処理技術を適用し、ビアホールやクラックなどの主要な外観欠陥を高精度に検査します。

高精度ウェーハ表面検査
先端半導体製造工程で使用されるウェーハを対象に、高解像度の光学イメージング技術を活用し、表面異常や微細な外観欠陥を高精度に検査します。

Color, UV, IR, Dent opticsを工程別に組み合わせ高い欠陥検出に基づくデータを確保します。Color, UV, IR, Dent optics를 공정별로 조합해 결함 검출 기반 데이터를 확보합니다.
クリティカル領域に対するAI検査とOK/NG欠陥filteringソリューションにより検出能力向上と作業者確認負担を軽減します。크리티컬 영역에 대한 AI 검사와 OK/NG 결함 필터링 솔루션으로검출력 향상과 작업자 확인 부담을 경감 합니다.
画像ベースのVerifyと精密再撮影を組み合わせ、最終OK / NG判定精度を向上させます。이미지 기반 베리파이와 정밀 재촬영을 결합해 최종 OK / NG 판단 정확도를 높입니다.
Color, UV, IR, Dent opticsを工程別に組み合わせ高い欠陥検出に基づくデータを確保します。Color, UV, IR, Dent optics를 공정별로 조합해 결함 검출 기반 데이터를 확보합니다.
クリティカル領域に対するAI検査とOK/NG欠陥filteringソリューションにより検出能力向上と作業者確認負担を軽減します。크리티컬 영역에 대한 AI 검사와 OK/NG 결함 필터링 솔루션으로검출력 향상과 작업자 확인 부담을 경감 합니다.
画像ベースのVerifyと精密再撮影を組み合わせ、最終OK / NG判定精度を向上させます。이미지 기반 베리파이와 정밀 재촬영을 결합해 최종 OK / NG 판단 정확도를 높입니다.
事業分野