Color Panel AVI
P-400CA
PSR工程後のパネルを対象に、自動反転（Auto Flip）による両面検査とPanel-in-Tray搬送に対応した高解像度カラー検査モデルです。
- Cu exposure ≥ 15 um
- Color: 2.5 um/pixel
- Multi-angle white LED
- Metal / SR / bump, 240 sec/panel
- System size: 2,956(W) x 2,725(D) x 2,200(H) mm
パネル単位の光学検査製品お問い合わせ
高解像度カラー・UV・IR・Dent検査Panel AVI
パネル単位の中間工程で欠陥を早期に検出し、品質管理を支援します。
高解像度カラー検査を基本とし、UV・IR・Dentなどの特殊光学検査構成に対応します。
SR・ABF・VHP・CZの各工程後の検査要件に合わせて、光学系や検査条件を適用できます。
パネル段階で欠陥を早期に検出することで、後続工程への不良品流出リスクを低減し、品質管理の効率向上を支援します。
製品特徴
解像度範囲
2-5 Um/Pixel
Color, UV, IR 多波長対応可能
適用工程
ABF / PSR / CZ / VHP
FOUP、Tray、Box 自動化対応可能
Panel AVI 製品群 簡易仕様
UV + Color Panel AVI
P-400HUV
CZ工程後のドライフィルムレジスト（DFR）残渣などの欠陥検出・識別に向けて、カラー検査とUV蛍光検査を組み合わせた複合光学検査モデルです。
- Dry film residue ≥ 10 um
- UV and multi-angle white LED
- Normal: 110 sec/panel, HR: 520 sec/panel
- UV and Color: 2.5-5 um/pixel
- All inside panel (unit + dummy area)
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
IR + Color Panel AVI
P-400CIRA
PSR工程後の検査において、カラーとIR（赤外線）光学系を組み合わせ、ソルダーレジスト（SR）下のショート、パターンのオープン・ショート、Cu露出などの欠陥検査に対応する複合光学検査モデルです。
- Cu exposure, open/short ≥ 15 um
- IR and multi-angle white LED
- Normal: 120 sec/panel, HR: 250 sec/panel
- IR and Color: 2.5-5 um/pixel
- Metal / SR
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
Manual Type
P-400C
PSR工程後のパネル片面検査に対応した手動運用型のカラー検査モデルです。高解像度の光学イメージングと多角度白色LED照明を活用し、外観欠陥を検査します。
- Cu exposure ≥ 15 um
- Multi-angle white LED
- Normal: 60 sec/side, HR: 85 sec/side
- Color: 2.5, 3 um/pixel
- Metal / SR / bump
- System size: 1,280(W) x 2,635(D) x 1,900(H) mm