Panel
Panel / Quad
高解像度カラー画像を基に、外観不良、ABF Void、SR Pinholeなどのクリティカルな欠陥を検出するメイン検査プラットフォームです。
- 2-5 um/pixel対応
- Color, UV, IR optical expansion
代表設備群ラインナップ
Strip AFVI
Strip AFVI
FC-BGA、FC-CSP Strip工程向けのAFVI製品群。単体式およびマガジンタイプに対応し、両面自動検査が可能な検査プラットフォームです。
- 1-5um/pixel対応、Color, IR, Dent optical expansion
- Stack and Magazine configuration
Tray AFVI
Tray AFVI
JEDEC TrayにFC-BGA Unitが載せられた状態で、外観不良およびDent検査が可能な検査プラットフォームです。
- 2.5-5um/pixel対応、Color, IR, Dent optical expansion
- Tray-in Tray-out configuration, 3D AFVI expansion
Tray AFVI
IVS / ICS / AI
AVI検出画像を引き継ぎ、過検除去、欠陥分類、高倍率再確認を行う非接触Verifyフローです。
- IVSベースの欠陥レビュー
- iCS All-in-Focus 精密レビュー
Pixel Master
Pixel Master
CAM / NAS / spec databaseを中央管理し、同一モデルの号機間展開とレシピ拡散速度を向上させます。
- 中央recipe / spec管理
- 号機間水平展開サポート
欠陥およびVerify例
UV例
Color vs Fluorescence
可視光では視認が困難なDFR残存欠陥を、UV蛍光反応を利用して検出できます。
IR例
Color vs IR
カラーよりもより明確に、SR下部のOpen/Shortパターン検査が可能です。
Dent例
Color vs Dent
通常の検査画像では視認されないDent性欠陥を、専用光学系で検出できます。
カラー例
Mono vs Color
モノクロ画像では判別が困難だった欠陥タイプを、カラーでは判別可能であり、作業者とAIの双方で活用できます。