Verification System

IVS 图像复核与 ICS 高倍率缺陷验证系统
一体化缺陷复核与验证系统

从缺陷检测到最终判定, 一体化缺陷验证系统

通过整合 AI 筛选、IVS 和 ICS,实现从缺陷复核到最终判定的高效协同。

通过 AI 筛选,减少误报带来的缺陷复核工作量。

利用 IVS 进行基于图像的缺陷复核,辅助 OK/NG 判定。

通过 ICS 对需要进一步确认的缺陷进行高倍率复检,提高最终判定的可靠性。

产品特点

IVS

彩色缺陷图像 Review

过检剔除、实际不良确认、Auto IVS 过滤联动

ICS

0.345 um/pixel

提供 All-in-Focus 高分辨率图像与 Pseudo 3D View

产品咨询

详情

IVS

Image-based Verification System

基于 AVI 检测得到的原始彩色缺陷图像,对误报进行复核并快速确认真实缺陷的图像验证系统。

  • 直接利用 AVI 原始彩色缺陷图像,减少误报并确认实际缺陷。
  • 可与 Pixel AI 自动缺陷筛选功能集成,提高缺陷复核效率。
  • 可扩展为减少产品重复搬运的非接触式缺陷复核流程。
ICS

Image Capturing System

针对难以判定的缺陷进行高倍率、高分辨率重新拍摄,并利用 All-in-Focus 和 Pseudo 3D View 功能,支持精细化缺陷复核与可靠的最终判定。

  • 光学分辨率:0.69 µm/pixel / 视野(FOV):1,004 × 750 µm
  • 图像采集时间:1.5 秒/点
  • 基于 10 倍物镜的 All-in-Focus 全焦清晰图像采集
  • 支持非接触式高倍率缺陷复核及 Pseudo 3D View 伪三维显示
非接触式缺陷复核

IVS、Auto-IVS 与 ICS 缺陷复核流程

通过减少产品重复搬运,整合基于图像的缺陷复核、自动判定辅助及高倍率复检,提高缺陷复核效率与最终判定的可靠性。

01

IVS 图像复核

利用 AVI 检测获得的缺陷图像,确认误报情况、测量缺陷尺寸、识别缺陷类别,并辅助 OK/NG 判定。

02

Auto-IVS 判定流程

整合基于规则的检测、AI 筛选及人工复核,优化缺陷判定流程,降低不良品漏检流出风险及复核工作量。

03

ICS 高倍率缺陷复核

通过高倍率 All-in-Focus 全焦清晰成像,对需要进一步确认的缺陷重新拍摄,支持精细化缺陷验证与可靠的最终判定。

ICS Optics

结合 2D 图像与伪 3D 视图,实现精密缺陷复核

ICS 结合高倍率 2D 图像与 Pseudo 3D View(伪三维视图),帮助用户直观了解细微缺陷的特征,为准确的缺陷判定提供支持。

2D ViewPseudo 3D ViewAll-in-Focus10× Objective LensNon-Contact Verification
  • 可对仅凭 IVS 图像难以判定的细微缺陷进行高倍率复核。
  • 根据实际检测需求,可评估替代传统 VRS 高倍率复核流程的配置方案。
  • 与 IVS 系统集成,筛选需要进一步确认的缺陷,提高缺陷复核效率。