Verification System

Verification System 设备
代表型号

IVS와 ICS를 중심으로 제품 터치 없는 베리파이를 완성합니다.

从 AVI 图像 Review 到高分辨率再拍摄,一览以 IVS 与 ICS 为核心的 Verification System 配置。

从 AI 过滤到 Review、高倍率 Review、最终判定

减少检测后作业员确认量,仅对必要点位精密再确认。

产品特点

IVS

彩色缺陷图像 Review

过检剔除、实际不良确认、Auto IVS 过滤联动

ICS

0.345 um/pixel

提供 All-in-Focus 高分辨率图像与 Pseudo 3D View

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IVS

Image-based Verification System

直接使用 AVI 彩色缺陷图像,快速执行过检剔除与实际不良确认的 Verify 阶段。

  • 直接利用 AVI 彩色缺陷图像,减少过检并确认实际不良。
  • 可与 Pixel AI 自动缺陷过滤联动。
  • 可扩展为 Touch-free Verify 工作流。
ICS

Image Capturing System

仅对难判定缺陷进行高倍率、高分辨率再拍摄,提升作业员判定准确度的精密 Review 阶段。

  • Res. 0.69 um/pixel, FOV 1004 um x 750 um
  • Capture time: 1.5 sec per point
  • x10 lens 基于 All-in-Focus capture
  • 提供 Non-Contact 高倍率 Review 与 Pseudo 3D View
Non-Contact Verify

IVS 与 ICS 构建的 Verify 工作流

减少作业员与产品接触,仅精密处理难判定缺陷,是 Verification 流程的核心。

01

IVS 分类

基于 AVI 缺陷图像,执行 Overkill 剔除、Defect Measurement、Category Decision。

02

Auto IVS 联动

管理 Rule-Based 检测、AI、Human Verify 顺序,同步降低 Leakage Risk 与 Review 负担。

03

ICS 精密 Verify

以高倍率 All-In-Focus Capture 再确认仅需人工判定的缺陷。

ICS Optics

同时查看 2D 与 3D 视图的精密 Verify

ICS 同时提供 2D 视图与附加 3D 视图,帮助更直观地判定缺陷。

2D View3D ViewAll-in-Focusx10 LensNon-Contact Verify
  • 可精密确认 IVS 难以判定的微细缺陷。
  • 可替代现有 VRS。
  • 与 IVS 联动,逐步降低 Verify 负担。