

Panel / Quad
结合高分辨率彩色检测与专用光学技术,对 Panel 和 Quad 阶段的外观缺陷、ABF 空洞(Void)、阻焊层(SR)针孔(Pinhole)等主要缺陷进行精密检测。
- 光学分辨率:支持 2–5 µm/pixel
- 光学配置:以彩色检测为基础,可扩展 UV、IR 检测功能
从检测到判定
将 Panel、Strip、Tray 检测设备与 AI 检测及筛选、IVS/ICS 验证系统和 Pixel Master 配方管理功能相结合,提升量产现场的缺陷检测性能与判定效率。
业务领域
先进半导体封装基板检测
针对应用于 AI 服务器及高性能计算(HPC)领域的 FC-BGA 半导体封装基板,对 Panel、Strip 和 Unit 各生产阶段中阻焊层(SR)及金属线路区域的细微外观缺陷进行精密检测。

先进玻璃基板检测技术
采用适用于下一代半导体封装玻璃基板的专用光学系统与图像处理技术,对过孔(Via Hole)、裂纹(Crack)等主要外观缺陷进行精密检测。

高精度晶圆表面检测
面向先进半导体制造工艺中使用的晶圆,采用高分辨率光学成像技术,对表面异常及细微外观缺陷进行精密检测。

按工艺组合 Color, UV, IR, Dent optics获取高检出率缺陷数据。Color, UV, IR, Dent optics를 공정별로 조합해 결함 검출 기반 데이터를 확보합니다.
针对关键区域的 AI 检测与 OK/NG 缺陷过滤解决方案,提升检出能力并减轻作业员确认负担。크리티컬 영역에 대한 AI 검사와 OK/NG 결함 필터링 솔루션으로검출력 향상과 작업자 확인 부담을 경감 합니다.
结合图像 Verify 与精密再拍摄提升最终 OK / NG 判定准确度。이미지 기반 베리파이와 정밀 재촬영을 결합해 최종 OK / NG 판단 정확도를 높입니다.
按工艺组合 Color, UV, IR, Dent optics获取高检出率缺陷数据。Color, UV, IR, Dent optics를 공정별로 조합해 결함 검출 기반 데이터를 확보합니다.
针对关键区域的 AI 检测与 OK/NG 缺陷过滤解决方案,提升检出能力并减轻作业员确认负担。크리티컬 영역에 대한 AI 검사와 OK/NG 결함 필터링 솔루션으로검출력 향상과 작업자 확인 부담을 경감 합니다.
结合图像 Verify 与精密再拍摄提升最终 OK / NG 判定准确度。이미지 기반 베리파이와 정밀 재촬영을 결합해 최종 OK / NG 판단 정확도를 높입니다.
业务领域