Color Panel AVI
P-400CA
面向 PSR 工序后的基板，支持自动翻转（Auto Flip）双面检测及 Panel-in-Tray 搬运的高分辨率彩色检测机型。
- Cu exposure ≥ 15 um
- Color: 2.5 um/pixel
- Multi-angle white LED
- Metal / SR / bump, 240 sec/panel
- System size: 2,956(W) x 2,725(D) x 2,200(H) mm
Panel 级光学检测产品咨询
高分辨率彩色、UV、IR 及 Dent 检测Panel AVI
在 Panel 级中间生产工序中及早发现缺陷，支持高效的质量管理。
以高分辨率彩色检测为基础，支持 UV、IR 和 Dent 等特殊光学检测配置。
可根据 SR、ABF、VHP、CZ 等工序之后的检测需求，配置相应的光学系统与检测参数。
通过在 Panel 阶段及早发现缺陷，降低不良基板流入后续工序的风险，提高质量管理效率。
产品特点
分辨率范围
2-5 Um/Pixel
支持 Color, UV, IR 多波段
适用工艺
ABF / PSR / CZ / VHP
支持 FOUP, Tray, Box 自动化
Panel AVI 产品系列简要规格
UV + Color Panel AVI
P-400HUV
结合彩色成像与 UV 荧光检测技术，用于 CZ 工序后干膜光刻胶（DFR）残留等缺陷的检测与区分的复合光学检测机型。
- Dry film residue ≥ 10 um
- UV and multi-angle white LED
- Normal: 110 sec/panel, HR: 520 sec/panel
- UV and Color: 2.5-5 um/pixel
- All inside panel (unit + dummy area)
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
IR + Color Panel AVI
P-400CIRA
面向 PSR 工序后的检测，结合可见光彩色成像与红外（IR）光学技术，可检测阻焊层（SR）下方短路、线路开路/短路及铜层裸露等多种缺陷的复合光学检测机型。
- Cu exposure, open/short ≥ 15 um
- IR and multi-angle white LED
- Normal: 120 sec/panel, HR: 250 sec/panel
- IR and Color: 2.5-5 um/pixel
- Metal / SR
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
Manual Type
P-400C
面向 PSR 工序后基板单面检测的手动操作型彩色检测机型，采用高分辨率光学成像与多角度白光 LED 照明，对外观缺陷进行精密检测。
- Cu exposure ≥ 15 um
- Multi-angle white LED
- Normal: 60 sec/side, HR: 85 sec/side
- Color: 2.5, 3 um/pixel
- Metal / SR / bump
- System size: 1,280(W) x 2,635(D) x 1,900(H) mm