Color Panel AVI
P-400CA
PSR 后工艺用双面 auto flip panel-in-tray 配置。
- Cu exposure ≥ 15 um
- Color: 2.5 um/pixel
- Multi-angle white LED
- Metal / SR / bump, 240 sec/panel
- System size: 2,956(W) x 2,725(D) x 2,200(H) mm
代表型号产品咨询
高分辨率彩色、UV、IR、Dent 检测Panel AVI
在 Panel 级中段工艺中发挥 Gate Keeper 作用。
从彩色检测可扩展至专用光学系统的 Panel AVI
以 Color 检测为基础，可扩展至 UV、IR 等特殊波段检测，
适用于 SR 后工艺、ABF 后工艺、VHP 后工艺、CZ 后工艺等多种工艺。
产品特点
分辨率范围
2-5 Um/Pixel
支持 Color, UV, IR 多波段
适用工艺
ABF / PSR / CZ / VHP
支持 FOUP, Tray, Box 自动化
Panel AVI 产品系列简要规格
UV + Color Panel AVI
P-400HUV
CZ 后工艺中，用于 DFR residue 与 fluorescence 缺陷分离的复合光学配置。
- Dry film residue ≥ 10 um
- UV and multi-angle white LED
- Normal: 110 sec/panel, HR: 520 sec/panel
- UV and Color: 2.5-5 um/pixel
- All inside panel (unit + dummy area)
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
IR + Color Panel AVI
P-400CIRA
PSR 后工艺中，用于 short under SR、open / short、Cu exposure 的 IR 复合光学设备。
- Cu exposure, open/short ≥ 15 um
- IR and multi-angle white LED
- Normal: 120 sec/panel, HR: 250 sec/panel
- IR and Color: 2.5-5 um/pixel
- Metal / SR
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
Manual Type
P-400C
PSR 后工艺用 one-side manual panel inspection 配置。
- Cu exposure ≥ 15 um
- Multi-angle white LED
- Normal: 60 sec/side, HR: 85 sec/side
- Color: 2.5, 3 um/pixel
- Metal / SR / bump
- System size: 1,280(W) x 2,635(D) x 1,900(H) mm