Panel
Panel / Quad
基于高分辨率彩色图像，检出外观不良、ABF Void、SR Pinhole 等关键缺陷的主检测平台。
- 2-5 um/pixel 覆盖
- Color, UV, IR optical expansion
代表设备系列
Strip AFVI
Strip AFVI
面向 FC-BGA、FC-CSP Strip 工艺的 AFVI 产品系列，支持单件式与 Magazine 类型，可进行双面自动检测。
- 1-5um/pixel 覆盖, Color, IR, Dent optical expansion
- Stack and Magazine configuration
Tray AFVI
Tray AFVI
在 JEDEC Tray 装载 FC-BGA Unit 的状态下，可进行外观不良与 Dent 检测的检测平台。
- 2.5-5um/pixel 覆盖, Color, IR, Dent optical expansion
- Tray-in Tray-out configuration, 3D AFVI expansion
Tray AFVI
IVS / ICS / AI
承接 AVI 检出图像，执行过检剔除、缺陷分类与高倍率再确认的 Non-Contact Verify 流程。
- IVS 缺陷 Review
- iCS All-in-Focus 精密 Review
Pixel Master
Pixel Master
集中管理 CAM / NAS / spec database，加快同型号机台间部署与 Recipe 扩散速度。
- 集中 recipe / spec 管理
- 支持机台间横向部署
缺陷与 Verify 示例
UV 示例
Color vs Fluorescence
利用 UV 荧光反应，可检出可见光下难以识别的 DFR 残留缺陷。
IR 示例
Color vs IR
相比彩色，可更清晰地检测 SR 下部 Open/Short 图案。
Dent 示例
Color vs Dent
在常规检测图像中不可见的 Dent 类缺陷，可通过专用光学系统检出。
彩色示例
Mono vs Color
黑白图像难以区分的缺陷类型，在彩色图像中可区分，适用于作业员与 AI。