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Panel

Panel / Quad

结合高分辨率彩色检测与专用光学技术,对 Panel 和 Quad 阶段的外观缺陷、ABF 空洞(Void)、阻焊层(SR)针孔(Pinhole)等主要缺陷进行精密检测。

  • 光学分辨率:支持 2–5 µm/pixel
  • 光学配置:以彩色检测为基础,可扩展 UV、IR 检测功能
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Strip

Strip AFVI

适用于 FC-BGA 和 FC-CSP 封装基板 Strip 级最终外观检测,支持 Stack 和 Magazine 搬运方式及自动双面检测配置。

  • 光学分辨率:支持 1–5 µm/pixel
  • 光学配置:以彩色检测为基础,可扩展 IR 和 Dent 检测功能
  • 搬运方式:支持 Stack 和 Magazine 配置
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Unit

Tray AFVI

面向使用 JEDEC Tray 的 FC-BGA 封装基板 Unit 级最终外观检测,支持高分辨率彩色检测及自动双面检测配置。

  • 光学分辨率:支持 2.5–5 µm/pixel
  • 光学配置:以彩色检测为基础,可扩展 IR 和 Dent 检测功能
  • 搬运方式:支持 Tray-in / Tray-out 配置
  • 另有 3D 高度检测机型可供选择
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Verification

IVS / ICS / AI

整合基于 AI 的缺陷筛选、IVS 图像复核及 ICS 高倍率复检,减少误报带来的复核工作量,提高最终判定可靠性的一体化缺陷复核解决方案。

  • 基于 AI 的自动缺陷筛选,减少误报复核工作量
  • IVS 缺陷图像复核及 OK/NG 判定支持
  • ICS 高倍率 All-in-Focus 重新拍摄及 Pseudo 3D View 功能
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Recipe Management

Pixel Master

集中管理 CAM 数据、NAS 存储文件及检测规格数据库,支持同型号检测设备之间的检测配方共享与下发,提高设备调试及运行效率。

  • 集中管理 CAM、NAS 及检测规格数据
  • 支持同型号设备之间的检测配方共享与下发
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缺陷与 Verify 示例

UV 荧光检测

彩色成像与 UV 荧光成像对比

利用 UV 照射产生的荧光反应,更清晰地检测传统彩色图像中难以识别的干膜光刻胶(DFR)残留。

红外(IR)检测

彩色成像与红外成像对比

利用红外(IR)光学成像技术,更清晰地观察阻焊层(SR)下方的电路图形,辅助检测传统彩色成像难以识别的开路与短路缺陷。

表面凹痕(Dent)检测

彩色图像与 Dent 检测图像对比

通过专用光学系统与照明技术,提高传统彩色图像中难以识别的细微表面凹痕(Dent)缺陷的可见性,实现更可靠的缺陷检测。

彩色检测

单色图像与彩色图像对比

通过彩色成像,更清晰地区分单色图像中难以识别的颜色及材料特征差异,为缺陷类型识别、人工复核及 AI 检测与分类提供支持。