IVS
Image-based Verification System
AVIカラー欠陥画像をそのまま使用し、過検除去と実不良確認を迅速に行うVerify段階です。
- AVIカラー欠陥画像をそのまま活用し、過検を低減し実不良を確認します。
- Pixel AI 自動欠陥filteringと連携可能です。
- タッチフリーVerifyワークフローへ拡張可能です。
代表モデル製品お問い合わせ
IVS와 ICS를 중심으로 제품 터치 없는 베리파이를 완성합니다.IVSとICSを中心に、製品非接触の Verifyを完成させます。
AVI画像レビューから高解像度再撮影まで、IVSとICS中心のVerification System構成を一覧で確認できます。
AI filteringからレビュー、高解像度レビュー、最終判定まで
検査後の作業者確認量を削減し、必要なポイントのみ精密に再確認する構造です。
製品特徴
IVS
カラー欠陥画像レビュー
過検除去、実不良確認、Auto IVS filtering連携
ICS
0.345 um/pixel
All-in-Focus 高解像度画像とPseudo 3D View提供
詳細
ICS
Image Capturing System
判定困難な欠陥のみ高倍率・高解像度で再撮影し、作業者判定精度を向上させる精密レビュー段階です。
- Res. 0.69 um/pixel, FOV 1004 um x 750 um
- Capture time: 1.5 sec per point
- x10 lensベース All-in-Focus capture
- 非接触高倍率レビューとPseudo 3D View提供
非接触Verify
IVSとICSが生み出す VerifyワークフローIVSとICSが生み出すVerifyワークフロー
作業者の製品接触を低減し、判定が困難な欠陥のみ精密に扱うことが、Verificationフローの核心です。
IVS分類
AVI欠陥画像を基に、Overkill除去、Defect Measurement、Category Decisionを実行します。
Auto IVS連携
Rule-Based検査、AI、Human Verifyの順序を管理し、Leakage Riskとレビュー負担を同時に低減します。
ICS精密Verify
高倍率All-In-Focus Captureにより、人間の判定が必要な欠陥のみ再確認します。
ICS Optics
2Dビューと3Dビューを同時に見る精密Verify2Dビューと3Dビューを同時に見る 精密Verify
ICSは2Dビューと付加機能として3Dビューを同時に提供し、欠陥をより直感的に判断できるよう支援します。
2D View3D ViewAll-in-Focusx10 Lens非接触Verify
- IVSのみでは判定が困難な微細欠陥を精密に確認できます。
- 従来のVRSを代替可能です。
- IVSとの連動により、Verify負担を段階的に低減できます。