Verification System

IVS·ICS 결함 베리파이 시스템
통합 베리파이 시스템

제품 접촉 없는 통합 베리파이 시스템

AI 필터링과 IVS·ICS를 연계하여 결함 리뷰부터 최종 판정까지 효율적인 베리파이 환경을 제공합니다.

AI 필터링으로 과검출에 따른 리뷰 부담을 줄입니다.

IVS를 통해 결함 이미지를 확인하고 OK/NG 판정을 지원합니다.

ICS의 고배율 재검증으로 필요한 결함을 정밀하게 확인하고 최종 판정의 신뢰도를 높입니다.

제품 특징

IVS

컬러 결함 이미지 리뷰

과검 제거, 실제 불량 확인, Auto IVS 필터링 연계

ICS

0.345 um/pixel

All-in-Focus 고해상도 이미지와 Pseudo 3D View 제공

제품 문의

상세

IVS

Image-based Verification System

AVI에서 검출된 컬러 결함 이미지를 활용하여 과검출을 검토하고 실제 불량 여부를 신속하게 판정하는 이미지 기반 베리파이 시스템입니다.

  • AVI의 컬러 결함 이미지를 그대로 활용하여 과검출을 줄이고 실제 불량 여부를 확인합니다.
  • Pixel AI 기반 자동 결함 필터링과 연계하여 리뷰 효율을 높일 수 있습니다.
  • 제품 재취급을 최소화하는 비접촉 베리파이 워크플로우로 확장할 수 있습니다.
ICS

Image Capturing System

판정이 어려운 결함을 고배율·고해상도로 재촬영하고, All-in-Focus 및 Pseudo 3D View 기능을 활용하여 정밀한 결함 확인과 최종 판정을 지원하는 베리파이 시스템입니다.

  • 광학 해상도: 0.69 µm/pixel / FOV: 1,004 × 750 µm
  • 이미지 촬영 시간: 1.5초/포인트
  • 10배 대물렌즈 기반 All-in-Focus 이미지 촬영
  • 비접촉 고배율 결함 리뷰 및 Pseudo 3D View 지원
비접촉 베리파이

IVS·Auto-IVS·ICS 베리파이 워크플로

제품의 재취급을 최소화하고, 이미지 기반 결함 리뷰와 자동 판정 보조, 고배율 재검증을 연계하여 베리파이 효율과 최종 판정의 신뢰도를 높입니다.

01

IVS 이미지 리뷰

AVI에서 검출된 결함 이미지를 활용하여 과검출 여부, 결함 크기 및 유형을 확인하고 OK/NG 판정을 지원합니다.

02

Auto-IVS 판정 연계

룰 기반 검사, AI 필터링 및 작업자 베리파이를 연계하여 결함 판정 과정을 효율화하고 불량 유출 위험과 리뷰 부담을 줄입니다.

03

ICS 고배율 베리파이

추가 확인이 필요한 결함을 고배율 All-in-Focus 이미지로 재촬영하여 정밀한 결함 확인과 최종 판정을 지원합니다.

ICS Optics

2D 이미지와 Pseudo 3D View로 구현하는 정밀 베리파이

ICS는 고배율 2D 이미지와 Pseudo 3D View를 함께 제공하여 미세 결함의 특징을 직관적으로 확인하고, 보다 정확한 결함 판정을 지원합니다.

2D ViewPseudo 3D ViewAll-in-Focus10× Objective LensNon-Contact Verification
  • IVS 이미지만으로 판정하기 어려운 미세 결함을 고배율로 재확인할 수 있습니다.
  • 검사 목적에 따라 기존 VRS의 고배율 재검증 작업을 대체하는 구성을 검토할 수 있습니다.
  • IVS와 연계하여 추가 확인이 필요한 결함을 선별하고 베리파이 작업의 효율을 높입니다.