Color Panel AVI
P-400CA
PSR 공정 이후 패널의 양면 자동 반전(Auto Flip) 검사와 Panel-in-Tray 반송에 대응하는 고해상도 컬러 검사 모델입니다.
- Cu exposure ≥ 15 um
- Color: 2.5 um/pixel
- Multi-angle white LED
- Metal / SR / bump, 240 sec/panel
- System size: 2,956(W) x 2,725(D) x 2,200(H) mm
패널 단위 광학 검사제품 문의
고해상도 컬러·UV·IR·Dent 검사Panel AVI
패널 단위 중간 공정에서 결함을 조기에 검출하고 품질 관리를 지원합니다.
고해상도 컬러 검사를 기반으로 UV·IR·Dent 등 특수 광학 검사 구성을 지원합니다.
SR·ABF·VHP·CZ 각 공정 이후의 검사 요구에 맞춰 광학계와 검사 조건을 적용할 수 있습니다.
패널 단계에서 결함을 조기에 검출하여 후속 공정의 불량 유입 위험을 줄이고 품질 관리 효율을 높입니다.
제품 특징
해상도 범위
2-5 Um/Pixel
Color, UV, IR 다파장 대응 가능
적용 공정
ABF / PSR / CZ / VHP
FOUP, Tray, Box 자동화 대응 가능
Panel AVI 제품군 간단 사양
UV + Color Panel AVI
P-400HUV
CZ 공정 이후 DFR 잔사 등 결함의 검출과 구분을 위해 컬러 검사와 UV 형광 기반 검사를 결합한 복합 광학 모델입니다.
- Dry film residue ≥ 10 um
- UV and multi-angle white LED
- Normal: 110 sec/panel, HR: 520 sec/panel
- UV and Color: 2.5-5 um/pixel
- All inside panel (unit + dummy area)
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
IR + Color Panel AVI
P-400CIRA
PSR 공정 이후 컬러 및 IR(적외선) 광학계를 결합하여 SR 하부의 쇼트(Short), 패턴 오픈·쇼트(Open/Short), Cu 노출 등 다양한 결함 검사에 대응하는 복합 광학 모델입니다.
- Cu exposure, open/short ≥ 15 um
- IR and multi-angle white LED
- Normal: 120 sec/panel, HR: 250 sec/panel
- IR and Color: 2.5-5 um/pixel
- Metal / SR
- System size: 3,822(W) x 2,632(D) x 2,237(H) mm
Manual Type
P-400C
PSR 공정 이후 패널의 단면 검사를 위해 구성된 수동 운용형 컬러 검사 모델로, 고해상도 광학 영상과 다각도 백색 LED 조명을 활용하여 외관 결함을 검사합니다.
- Cu exposure ≥ 15 um
- Multi-angle white LED
- Normal: 60 sec/side, HR: 85 sec/side
- Color: 2.5, 3 um/pixel
- Metal / SR / bump
- System size: 1,280(W) x 2,635(D) x 1,900(H) mm