Tray AFVI

Tray AFVI 유닛 단위 자동 외관 검사장비
유닛 단위 최종 외관 검사

고해상도 컬러·Dent 검사Tray AFVI

JEDEC Tray에 수납된 FC-BGA Unit의 미세 외관 결함을 정밀하게 검사합니다.

JEDEC Tray에 수납된 FC-BGA 패키지 기판의 Unit 단위 최종 외관 검사에 대응합니다.

2.5~5 µm/pixel 컬러 검사 광학계를 적용하며, Dent 검사 기능을 추가할 수 있습니다.

자동 양면 검사 구성을 지원하여 Unit 단위 검사 공정의 효율성과 운영 편의성을 높입니다.

제품 유형

Unit on JEDEC Tray

FC-BGA unit inspection을 tray loading 중심으로 대응

적재 용량

Max. 150 Tray

auto flip이 필요한 2D 구성과 one-side 3D 구성을 구분해 제안

제품 문의

Tray AFVI 제품군 간단 사양

2D Color Tray AFVI

U-400T

JEDEC Tray에 수납된 FC-BGA Unit을 대상으로, 고해상도 2D 컬러 검사와 Auto Flip을 통한 양면 자동 검사를 지원하는 모델입니다. 최대 150매의 Tray 적재 구성을 통해 연속 검사 운영에 대응합니다.

  • Color: 2.5-5 um/pixel
  • Metal / SR
  • Max. 150 tray at once
  • System size: 2,330(W) x 1,780(D) x 1,965(H) mm
  • Multi-angle white LED
  • 25 sec/tray
  • 양면 auto flip
3D Height Inspection

U3D-400T

JEDEC Tray 기반의 Unit 단면 높이 검사 모델로, 3D 높이 측정 기술을 활용하여 검사 대상의 높이와 높이 편차를 정밀하게 검사합니다.

  • X: 6.5 um, Z: 20 nm
  • FOV: 11.6 mm
  • 35 sec/tray
  • System size: 1,960(W) x 1,510(D) x 2,105(H) mm
  • Z-repeatability: 200 nm
  • Range: 350 um to 500 um
  • Unit on JEDEC tray, one side
장비 선정 기준

Tray AFVI 선택 가이드

  • JEDEC Tray 기반의 양면 2D 컬러 검사가 필요한 경우 U-400T를 추천합니다.
  • Bump 높이 및 높이 편차 검사가 필요한 경우 U3D-400T를 검토할 수 있습니다.
  • 고객의 생산 공정에 맞춰 Tray-in / Tray-out 반송 구성을 검토할 수 있습니다.
  • IVS / ICS와 연계하여 결함 리뷰 및 재검증 공정을 구성할 수 있습니다.
운영 구성

검사 및 반송 구성 안내

  • U-400T는 JEDEC Tray 기반의 자동 반전 양면 검사를 지원합니다.
  • 2D 컬러 광학계를 통해 Metal 및 SR 영역의 외관 결함을 검사합니다.
  • U3D-400T는 3D 높이 측정을 통해 Bump 높이 및 높이 편차를 검사합니다.
  • Warpage 측정 적용 여부는 검사 범위 및 요구 정밀도에 따라 별도 검토합니다.